1.一种含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,包括:
(1)将铁基非晶软磁合金进行等离子渗氮,得到完全非晶态结构的含氮铁基非晶软磁合金;所述的等离子渗氮的温度为100~400℃,渗氮时间为10~60min;
(2)将步骤(1)得到的含氮铁基非晶软磁合金进行退火处理得到含氮铁基非晶纳米晶软磁合金。
2.根据权利要求1所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,其特征在于,所述的铁基非晶软磁合金为下列组成中的一种或多种:Fe73-84Si3-16B8-12M2.4-3Cu0.6-3、Fe80-91M3-10B3-10Cu0-3、
Fe33-66Co20-52M2-7B3-10Cu0.6-3、Fe65-78Si5-14B6-12P3-6C2-5Cu0.6-3、Fe80-91M3-10B3-10,
其中,M为Nb、Mo、Zr、Hf、Al和V中的一种或两种。
3.根据权利要求1所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,其特征在于,所述的铁基非晶软磁合金为铁基非晶软磁合金带材或铁基非晶软磁合金粉末中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,其特征在于,所述的等离子渗氮的具体步骤包括:(1)将铁基非晶软磁合金放入等离子渗氮反应炉中,通入氩气进行表面活化和清理;
(2)停止氩气通入,通入氮气,控制等离子渗氮的温度和渗氮时间,进行等离子渗氮,得到完全非晶态结构的含氮铁基非晶软磁合金;
(3)将含氮铁基非晶软磁合金在大气、真空、稀有气体气氛或氮气气氛中随炉冷却。
5.根据权利要求1或4所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,其特征在于,所述的等离子渗氮的渗氮压力为0.5~1Pa。
6.根据权利要求5所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,其特征在于,所述的等离子渗氮的温度为150~300℃,渗氮压力为0.6~0.8Pa,渗氮时间为10~20min。
7.根据权利要求1所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,其特征在于,所述的退火为去应力退火或纳米晶化退火。
8.根据权利要求1或7所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法,其特征在于,所述的退火的温度为500~640℃,退火的时间为10~60min。
9.根据权利要求1~6任一权利要求所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法制备得到的含氮铁基非晶软磁合金,其特征在于,所述的含氮铁基非晶软磁合金的氮含量为600~1000ppm。
10.根据权利要求1~8任一权利要求所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的制备方法制备得到的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金,其特征在于,所述的含氮铁基非晶纳米晶软磁合金的纳米晶的晶粒尺寸为10~15nm,饱和磁感应强度为1.48~1.74T。