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专利号: 2018111948627
申请人: 山东科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高精度气体微流量计,其特征在于,包括流量计外壳,在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管,所述进气管的中部设置有电磁阀导气孔,进气管的后部设置有电容导气孔;

所述气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连,出气管的下部与电磁阀导气孔相连,出气管内设置有电磁阀,电磁阀能控制出气管的通闭;

待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器,造成气体测量电容器电容值变化。

2.根据权利要求1所述的一种高精度气体微流量计,其特征在于,所述气体测量电容器包括两个平行的金属板,两个平行的金属板之间有间隙,间隙内有电介质;所述电容导气孔连接在处于下位的金属板的中间。

3.根据权利要求1或2所述的一种高精度气体微流量计的气体流量测量方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:关闭出气管内的电磁阀,待测气体自进气管进入;

步骤2:待测气体自进气管上的电容导气孔进入气体测量电容器,随着待测气体的流入,在气体压强的作用下,气体测量电容器的两个平行的金属板之间的距离减小,造成气体测量电容器电容值的变化,通过测量电容值的变化从而计算出流入气体的体积,进而计算出单位时间的气体流量;

步骤3:测量完毕后,打开电磁阀,气体通过电磁阀导气孔,进入出气管并顺利的排出;

步骤4:反复执行步骤1至3,进行气体流量测量,求取平均值,从而计算出待测气体的单位时间流量。