1.一种基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器，其特征在于，该激光器由

下至上依次包括Si基衬底（1）、热氧化SiO2层（2）、Si波导（3）、BCB层（4）、SiO2层（5）、P掺杂层

6）、有源区（7）、N掺杂层（8）、SiO2包覆层（9）；其中，所述Si基衬底（1）、所述热氧化SiO2（2）、所述Si波导（3）共同构成SOI波导结构；所述P掺杂层（6）、所述有源区（7）、所述N掺杂层（8）共刻出纳米梁谐振腔；所述P掺杂层（6）上部在纳米梁谐振腔两侧镀有与Si波导（3）平行的条状上电极（11），所述纳米梁谐振腔上部沿Si波导（3）方向两端镀有下电极（10）；所述纳米梁谐振腔置于SOI波导结构的上部且通过BCB层（4）和SiO2层（5）隔开；所述纳米梁谐振腔和SOI波导结构组成的双台面填充SiO2包覆层（9）。

2.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，该激光器利用ICP刻蚀开电极窗口，通过E-Beam蒸镀GSG-Pad电极，以实现共面电极结构。

3.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述SOI波导结构采用CMOS工艺制备：先将解理后的SOI片清洗烘干，热氧化SiO2层（5），利用电子束曝光制备图形，再利用ICP干法刻蚀将掩膜图形转移到硅层。

4.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述纳米梁谐振腔是利用湿法刻蚀剥离InP衬底的NIP结构，采用干法刻蚀工艺刻出的一系列纳米梁谐振腔。

5.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述纳米梁谐振腔结构位于对称轴上，分为纳米梁腔的渐变区（12）和纳米梁腔的镜像区（13），纳米梁腔的渐变区（12）圆环半径呈规律性变化，纳米梁腔的镜像区（13）圆环半径保持不变；圆环设有圆环内径（14）和圆环外径（15）。

6.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述SOI波导结构与纳米梁谐振腔

通过BCB层和SiO2中间层键合，纳米梁谐振腔与下方的SOI波导结构垂直耦合，实现光的定向输出。

7.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述SOI波导结构与BCB层（4）、SiO2层（5）尺寸相同，纳米梁谐振腔尺寸小于SOI波导结构。

8.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述纳米梁谐振腔各层尺寸不同，P掺杂层在宽度上小于SOI波导结构、大于有源区（7）和N掺杂层（8），在长度上各层尺寸均相同。

9.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述SiO2包覆层（9）为低折射率材料。

10.如权利要求1所述的电驱动激光器，其特征在于，所述上电极（11）、下电极（10）通过优化电极溅射条件、合金组分以及快速热退火条件实现欧姆接触，以降低接触电阻增大截止带宽，提高激光器的调制带宽。