1.一种光刻机小工件卡具，由升降旋转功能装置、光点定位功能装置、固定功能装置三部分组成，其特征在于：卡具的整体结构，从下往上分别是最底下的底座台（1），外空心柱（6）和内部的内空心柱（2），最上面是透明材质的工件台（3）；

所述升降旋转功能装置是由内空心柱（2）和外空心柱（6）组成；内空心柱（2）与外空心柱（6）配合套在一起，内空心柱（2）能够在外空心柱（6）内受控制地上下移动和旋转；内空心柱（2）的顶部与工件台（3）的下底中间部位，能够固定连接或者拆开；内空心柱（2）与工件台（3）在连接状态下，内空心柱（2）能够带动工件台（3）一起转动和上下升降；外空心柱（6）的底部环状端面加工有光滑的、耐摩擦材料；

所述光点定位功能装置，是由安装固定在内空心柱（2）的光源发生器（4）、和光源发生器（4）下部连接的定位光点发生器（9），以及安装在底座台（1）上表面的感光坐标屏（7）和显示屏（8）组成；定位光点发生器（9）能够将光源发生器（4）产生的平行光自动聚焦到感光坐标屏（7）上，产生细小的明亮的定位光点；每个定位光点发生器（9）产生的定位光点的光强或波长不同，都标记有区分标识，并存储在感光坐标屏（7）和显示屏（8）主板内；每个定位光点发生器（9）均安装有一个工件定位光点传输杆（13）与工件台（3）相连；工件定位光点传输杆（13）内部装有玻璃光纤，能够将定位光点发生器（9）聚焦产生的细小明亮的定位光点向上垂直传射到工件台（3）；透明的工件台（3）在每个工件定位光点传输杆（13）的对应位置，均加工有对应的工件定位光点标识（22）；定位光点发生器（9）向下发光口的光路垂直于外空心柱（6）空心的底部端面，能够无遮挡射出；外空心柱（6）放在感光坐标屏（7）的上表面上，能够在感光坐标屏（7）的上表面上自由水平滑动；感光坐标屏（7）的内部建有坐标系（11），感光坐标屏（7）安装在底座台（1）的上表面；底座台（1）的正立面是底边向前突出的一个斜面，在斜面上安装有显示屏（8）；显示屏（8）能够将感光坐标屏（7）感受到的不同的定位光点发生器（9）产生的不同的定位光点，在感光坐标屏（7）坐标系（11）上的位置坐标全部显示出来；

所述固定功能装置包括工件台（3）的上表面对称固定安装的4条或4条以上的工件固定装置（14），以及底座台（1）上的锁定支架（16）；工件固定装置（14）有弹性伸缩臂；工件（15）通过弹性伸缩臂产生的弹力固定于工件台（3）上；锁定支架（16）中间加工有直径与外空心柱（6）的外直径相配合一致的圆孔；锁定支架（16）过中心圆孔的直径分为两半，两半合并在一起时，中心圆孔能够将外空心柱（6）紧密抱住；锁定支架（16）的大小尺寸大于工件台（3）的尺寸；高度尺寸低于外空心柱（6）外壁上加工的部件的位置高度；锁定支架（16）的两半部分通过卡扣连接或强磁吸贴。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机小工件卡具，其特征在于：所述内空心柱（2）内部能够方便安装和拆换带有1个或多个定位光点发生器（9）的不同规格的光源发生器（4）；光源发生器（4）至少有1个定位光点发生器（9）的位置在光源发生器（4）的中心，即光源发生器（4）的中心与内空心柱（2）的轴心重合。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机小工件卡具，其特征在于：所述内空心柱（2）的一侧加工有内空心柱（2）的高度定位槽（12）；对应的，外空心柱（6）的上部与高度定位槽（12）对应位置加工有紧固装置（5）；或者所述内空心柱（2）的一侧加工有内空心柱标尺（17）；对应的，外空心柱（6）的内壁上嵌入加工有压缩气路（20），和在气路上加工有能够随气压大小升降的顶块或顶圈（18）；顶块或顶圈（18）固定在内空心柱（2）的环状底部上，带动内空心柱（2）的升降；外空心柱（6）的内壁或外侧壁上安装有贴壁微型电动机（21）；微型电动机（21）能够提供压缩气路压（20）的压力，微型电动机（21）的电动开关（19）安装在外空心柱（6）上端部。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机小工件卡具，其特征在于：所述感光坐标屏（7）内加工安装有光敏传感器（10）和感光坐标屏（7）平面的坐标系（11）。