1.玻璃陶瓷组合物,其特征在于,所述组合物由以下重量份数原料制成:玻璃25~35份,氧化锌3~8份,氟化钠5~20份,氟化锶10~15份,氧化镁15~25份,碳酸钾15~25份,贝壳粉35~50份,云母粉10~30份。
2.如权利要求1所述的玻璃陶瓷组合物,其特征在于,所述组合物由以下重量份数原料制成:玻璃30份,氧化锌5份,氟化钠12份,氟化锶13份,氧化镁20份,碳酸钾19份,贝壳粉45份,云母粉15份。
3.玻璃陶瓷组合物的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:原料的混合物研磨均匀后,将所述混合物熔融、保温,形成混合溶液,冷却成型得到前体玻璃;
将所述前体玻璃破碎,得到前体玻璃粉;
将所述前体玻璃粉和增韧剂混合,在保护气体的气氛中进行烧结,得到所述玻璃陶瓷;
其中,按照以下重量份数选取原料:玻璃25~35份,氧化锌3~8份,氟化钠5~20份,氟化锶10~15份,氧化镁15~25份,碳酸钾15~25份,贝壳粉35~50份,云母粉10~30份;以及其中,所述增韧剂重量份数PTO控制为:式中,PS为贝壳粉份数,PG为玻璃份数,PT为组合物总份数,δ为校正系数。
4.如权利要求3所述的玻璃陶瓷组合物的制备方法,其特征在于,所述增韧剂为氮化硅或者石英纤维。
5.如权利要求4所述的玻璃陶瓷组合物的制备方法,其特征在于,控制所述熔融温度TM为:式中,PS为贝壳粉份数,PG为玻璃份数,PT为组合物总份数,ξ为第一经验系数,A为第一经验常数,TM_max为最大熔融温度,TM_min为最小熔融温度;以及当所述熔融温度TM<TM_min时,控制所述熔融温度,使TM=TM_min;
当所述熔融温度TM>TM_max时,控制所述熔融温度,使TM=TM_max。
6.如权利要求5所述的玻璃陶瓷组合物的制备方法,其特征在于,控制所述烧结温度TA为:式中,PS为贝壳粉份数,PG为玻璃份数,PT为组合物总份数,ψ为第二经验系数,B为第二经验常数,TA_max为最大烧结温度,TA_min为最小烧结温度;以及当所述烧结温度TA<TA_min时,控制所述烧结温度,使TA=TA_min;
当所述烧结温度TA>TA_max时,控制所述烧结温度,使TA=TA_max。
7.如权利要求3-6中任一项所述的玻璃陶瓷组合物的制备方法,其特征在于,在进行所述混合物熔融之前,对所述原料混合物进行预热,预热温度为350℃~550℃;
熔融的时间为2.5~4小时;
烧结的时间为2~2.5小时。
8.如权利要求7所述的玻璃陶瓷组合物的制备方法,其特征在于,δ取值为0.092,ξ取值为0.83,A取值为142.9,ψ取值为0.75,B取值为200.8。
9.如权利要求8所述的玻璃陶瓷组合物的制备方法,其特征在于,最大熔融温度TM_max取值为1500℃,最小熔融温度TM_min取值为1300℃;以及最大烧结温度TA_max取值为1100℃,最小烧结温度取值为800℃。
10.使用如权利要求1或2所述的玻璃陶瓷组合物在半导体中的应用。