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专利号: 2018109939742
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种带梯形脊肋阵列的微散热器,包括上基板和下基板,所述上基板和下基板键合在一起,其特征在于,所述上基板上设有进口和出口,所述上基板上刻蚀出分流槽、上梯形脊肋阵列和合流槽;所述下基板上刻蚀出分流槽、下梯形脊肋阵列和合流槽;所述下基板与热源接触;所述上基板上的分流槽和下基板上的分流槽位置对应,组成完整分流槽,所述上基板上的合流槽和下基板上的合流槽位置对应,组成完整合流槽;所述上基板的上梯形脊肋阵列和下基板的下梯形脊肋阵列在行和列上均交错排列组成完整梯形脊肋阵列;所述完整合流槽、完整分流槽和完整梯形脊肋阵列形成通道,冷却工质从进口导入,经过该通道,从出口导出。

2.根据权利要求1所述的一种带梯形脊肋阵列的微散热器,其特征在于,所述上基板设置有一个或若干个进口。

3.根据权利要求1所述的一种带梯形脊肋阵列的微散热器,其特征在于,所述上基板设置有一个或若干个出口。