1.基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，其特征在于包括顺序连接的He-Ne激光器、第一扩束系统、偏振分光镜、 波片、空间光调制器、第一透镜、 波片、第二扩束系统、空间滤波器、第二透镜、聚光镜、第一孔径光阑、投射显微物镜、成像显微物镜、第二孔径光阑、筒镜和CCD相机，其中，空间滤波器和第二透镜之间设有反光板，由He-Ne激光器产生的线偏振激光通过第一扩束系统投射到偏振分光镜上，偏振分光镜放置在水平面上，光线经 波片后投射到空间光调制器中，空间光调制器采用纯相位方式反射空间光调制器，激光经过空间光调制器衍射，激光束分为三束，即0级和 级衍射光，三束衍射光被偏振分光镜反射经第一透镜被 波片调制成圆偏振光，再经第二扩束系统、高通空间滤波器挡住0级衍射光后， 级衍射光形成干涉条纹，所产生的干涉条纹依次经过第二透镜得到正弦相移条纹，正弦相移条纹再经过聚光镜、第一孔径光阑、用于条纹投射的显微物镜得到空间条纹像，空间条纹像投射到待测物上，待测物体放置于投射显微物镜与成像显微物镜之间的带有水平面板的工作台的水平面板上，被待测物调制后的条纹图依次通过用于被测物调制后的条纹成像的显微物镜、第二孔径光阑、筒镜和CCD相机，CCD相机外接计算机。

2.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，其特征在于，所述的空间光调制器为纯相位方式反射空间光调制器。

3.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，其特征在于，所述第一扩束系统和第二扩束系统的规格、性能参数相同。

4.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，其特征在于，所述第一透镜和第二透镜的规格、性能参数相同。

5.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，其特征在于，所述第一孔径光阑和第二孔径光阑的规格、性能参数相同。

6.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，其特征在于，所述偏振分光镜的光线透反射光强比为1:1，材料为K9光学玻璃。

7.根据权利要求1所述的基于条纹成像投影的显微三维形貌测量装置，其特征在于，待测物与经过聚光镜、第一孔径光阑、显微物镜得到的空间条纹像之间有间距d，d＞0。