1.一种自引阻尼真空隔膜阀，由阀体（1）及隔膜片（2）构成工作室，工作室一端为真空端（6），另一端为吸入端（27），其特征在于隔膜片（2）上方设置中壳体（10）构成隔膜腔（26），中壳体（10）上方设置上壳体（14），中壳体（10）、上壳体（14）之间配合设置上膜片（19）构成上膜腔（18）、中膜腔（20），上壳体（14）顶部设置接头（16），接头（16）与大气压或真空系统连接；中壳体（10）底部壳体上设置真空通道（9）、阻尼通道（25）和至少一条大气通道（22），阻尼通道（25）上端出口覆盖挡接设置阻尼块（23），阻尼块（23）将中膜片（21）压紧在中壳体（10）底部内壁，中膜片（21）与大气通道（22）端口覆盖挡接配合，阻尼块（23）上设置阻尼孔（24）与阻尼通道（25）连通，中壳体（10）中间设置连杆（17），连杆（17）顶部与上膜片（19）固定连接，连杆（17）与阻尼块（23）中部通孔穿接配合，连杆（17）底部固定设置阀片（11），阀片（11）与真空通道（9）出口覆盖挡接配合，真空通道（9）另一端连接止回阀（8），止回阀（8）另一端连接工作室的真空端（6）。

2.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于阀体（1）底部设置凸起部，凸起部顶部设置至少一条阻隔筋（3），隔膜片（2）底部与阻隔筋（3）间隔或挡接配合，阻隔筋（3）的高度为3.5-5.5mm，宽度为5.5-7.5mm。

3.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于隔膜腔（26）中间设置弹簧（4），弹簧（4）顶部与中壳体（10）底部固定连接，弹簧（4）底部与隔膜片（2）弹性顶触配合。

4.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于阀体（1）、隔膜片（2）边缘连接部设置成回字形密封连接结构，并与中壳体（10）边缘连接部通过螺丝锁紧固定配合；

上壳体（14）、上膜片（19）边缘连接部设置成凹槽形密封连接结构，并与中壳体（10）边缘连接部通过螺丝锁紧固定配合。

5.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于所述的真空通道（9）、阻尼通道（25）、大气通道（22）均为L形通道，止回阀（8）通过直角接管（5）与真空通道（9）连接，止回阀（8）通过引流管（7）与真空端（6）配合连接。

6.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于中壳体（10）底部壳体上设置2-4条大气通道（22）。

7.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于连杆（17）顶部通过上连接件（13）、下连接件（12）与上膜片（19）螺丝固定连接。

8.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于阻尼孔（24）的孔径为

0.2-0.35mm。

9.如权利要求1所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于上膜腔（18）顶部中间设置凹膜腔（15）。

10.如权利要求7所述的一种自引阻尼真空隔膜阀，其特征在于上膜腔（18）、中膜腔（20）之间的上膜片（19）上设置膜片凸起部（19a）。