1.一种人工淹没式空化射流微零件塑性成形的装置，喷嘴（14）的下段同轴心地空套在套管（13）的内部，其特征是：喷嘴（14）的上端入口通过管道连接溢流阀（17）的一个出口，溢流阀（17）的进口依次连接调速阀（18）和增压缸（19），增压缸（19）的进口连接三通阀（20）的一个出口，三通阀（20）的另一个出口经减压阀（21）后连接套管（13），三通阀（20）的入口通入工作流体；喷嘴（14）的上段通过管道连接盛放有纳米级微型磨粒的微型磨粒罐（24），喷嘴（14）的下端是喷嘴出口（33），套管（13）的下端是套管出口（37），喷嘴出口（33）和套管出口（37）之间留有垂直距离，套管出口（37）的下方是待加工微零件（5）；微型磨粒罐（24）的出口管路上装有截止阀（23）。

2.根据权利要求1所述的一种人工淹没式空化射流微零件塑性成形的装置，其特征是：

喷嘴（14）由入流管（29）、喷头（30）和进砂管（310组成，入流管（29）同轴连接于喷头（30）的正上方，喷头（30）的中心是上下贯通的混合室（32）；在喷头（30）的侧壁上固定连接进砂管（31），进砂管（31）连接所述的微型磨粒罐（24），与混合室（32）相通。

3.根据权利要求1所述的一种人工淹没式空化射流微零件塑性成形的装置，其特征是：

混合室（32）从上至下依次分为导流段（101）、直管段一（102）、收缩段一（103）和喉管段一（104），喉管段一（104）的内径B=1-2mm，直管段一（102）的内径为D，入流管（29）的内径为E，B:D:E=1:10:15；收缩段一（103）和导流段（101）都是上宽下窄的锥孔，收缩段一（103）的锥角a=15°；导流段（101）锥角β=100°；进砂管（31）的内径为L，喉管段一（104）的内径为B，L/B=

2-4。

4.根据权利要求3所述的一种人工淹没式空化射流微零件塑性成形的装置，其特征是：

套管（13）的上端侧壁上开有连接所述减压阀（21）的套管入口（36），套管（13）的中心通孔从上至下依次分为直管段二（105）、收缩段二（106）和喉管段二（107），喉管段二（107）的内径N与所述喉管段一（104）的内径为（B）之比N/B=15-20，收缩段二（106）上宽下窄，其收缩角θ=

60°；套管入口（36）的内径K、喉管段二（107）的内径N和直管段二（105）的内径M的比例K:N:M=1:1.5:2。

5.根据权利要求1所述的一种人工淹没式空化射流微零件塑性成形的装置，其特征是：

喷嘴（14）的上端入口通过支架（11）固定连接竖直微调工作台（10），微调工作台（10）固定连接竖直粗调工作台（9），竖直粗调工作台（9）固定设在竖直工作台基座（8）上，竖直工作台基座（8）与水平工作台基座（1）相互垂直且固定连接，水平工作台基座（1）上表面上固定置放容器（7），容器（7）内装有水平移动工作台（2），水平移动工作台（2）上表面上固定连接夹具（3），夹具（3）的上部是敞口，内部从下至上依次叠装有凹模（4）、待加工微零件（5）和掩模（6），掩模（6）上开有成形通孔（28），成形通孔（28）上方是套管（13）。

6.根据权利要求5所述的一种人工淹没式空化射流微零件塑性成形的装置，其特征是：

水平移动工作台（2）、竖直粗调工作台（9）和竖直微调工作台（10）均经控制线分别连接控制器（26）。

7.根据权利要求5所述的塑性成形方法，其特征是：套管出口（37）与掩模（6）之间的垂直距离为2-6cm；喷嘴出口（33）与套管出口37之间的距离为1.5cm。

8.一种如权利要求1所述的一种人工淹没式空化射流微零件塑性成形的装置塑性成形方法，其特征是包括以下步骤：A、工作流体经三通阀（20）的一个出口处流向增压缸（19）和调速阀（18），压力和流量增大后进入喷嘴（14）中；

B、打开截止阀（23），微型磨粒罐（24）中的纳米级磨粒喷入喷嘴（14）中与流体混合，再从喷嘴（14）下端的出口喷出；三通阀（20）内部的剩余流体从三通阀（20）的另一个出口经减压阀（21）后进入套管（13）内；

C、混合均匀的纳米级磨粒与流体从喷嘴出口（33）高速喷出时，与套管（13）内的低压流体相遇，构成强剪切并产生大量空泡，喷向待加工微零件（5）。

9.根据权利要求8所述的塑性成形方法，其特征是：进入喷嘴（14）中的流体压力为20-

25MPa，流量为7 -15L／min；流体通过减压阀（21）后的降低在0.2-0.5 MPa之间。