1.一种基于晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜,其特征在于,所述基于晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜包括晶体Ag纳米线网格和包裹所述晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜。
2.根据权利要求1所述的基于晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜,其特征在于,所述晶体Ag纳米线网格为由连续线条组成的图案,所述连续线条的长度为20-2000nm。
3.根据权利要求1所述的基于晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜,其特征在于,所述晶体Ag纳米线网格中,Ag纳米线的线宽为50-900nm。
4.权利要求1-3中任一项所述的基于晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)在LED外延片的p型GaN薄膜上旋涂光刻胶,使用掩膜板进行曝光处理,从而在p型GaN薄膜上获得生长晶体Ag纳米线网格所需的图案;
2)在p型GaN薄膜上沉积30-990nm的Ag,随后在真空炉中退火;
3)去除光刻胶,清洗干净,在70-200℃的真空炉中烘干以去除PVP,得到晶体Ag纳米线网格;
4)在晶体Ag纳米线网格上溅射Al掺杂ZnO颗粒,退火处理,使Al掺杂ZnO颗粒形成薄膜,并完全包裹晶体Ag纳米线网格,即得到基于晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤2)中,采用磁控溅射沉积Ag,磁控溅射的条件控制为:沉积温度为室温,溅射功率为250-500W,Ar气压为0.01-10Pa,真空为
0.00001-0.001Pa,耙材为99.999%的Ag靶。
6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤2)中,真空炉中退火的温度为
100-200℃,退火时间为30-360min。
7.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤4)中,采用磁控溅射或溅射仪在晶体Ag纳米线网格上溅射Al掺杂ZnO颗粒,溅射过程的条件控制为:溅射温度为25-200℃,溅射功率为250-500W,Ar气压为0.01-10Pa,真空为0.00001-0.001Pa,所用靶材为掺Al5%的ZnO陶瓷靶,ZnO纯度为99.95%以上。
8.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,步骤4)中,退火处理的温度为200-400℃,退火时间为30-120min。
9.一种LED芯片,其特征在于,所述LED芯片包括权利要求1-3中任一项所述的基于晶体Ag纳米线网格的Al掺杂ZnO薄膜。