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专利号: 2018103797184
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2025-02-08
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摘要:

权利要求书:

1.一种制备自由态多面体纳米Ag颗粒的方法,其特征在于:首先,在聚酰亚胺基体上沉积Mo-Ag合金膜,形成Mo-Ag合金膜/聚酰亚胺基体的膜基体系;然后,对所制备的膜基体系进行氩气气氛保护退火处理,在合金膜表面上自形成纳米尺寸的纯银颗粒,即获得了纳米Ag颗粒/银合金膜复合结构;

然后,将制备的纳米Ag颗粒/银合金膜复合结构浸泡到装有无水乙醇的容器内,将容器置于超声波条件下超声震荡,超声震荡过程中,纳米Ag颗粒从合金膜表面脱离进入无水乙醇中,超声震荡15min后将薄膜/基体取出,然后让容器内的无水乙醇蒸发,即可获得自由态多面体纳米Ag颗粒;其中,形成Mo-Ag合金膜/聚酰亚胺基体的膜基体系的工艺为:将聚酰亚胺基体固定到磁控溅射镀膜机基片台上,采用射频磁控溅射法制备Mo-Ag合金膜,溅射靶材是由99.95at%Mo靶和覆盖在Mo靶上的99.99at%的Ag片组成的复合靶材,基片为500μm厚的聚酰亚胺薄膜,溅射过程中基片不加热;射频磁控溅射法制备工艺为:首先,对真空室抽真-4空,使真空度优于6×10 Pa,然后,通入高纯氩气使真空室的气压达到0.55Pa,接下来对复合靶材进行20min预溅射,预溅结束后,在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo-Ag合金膜,形成Mo-Ag合金膜/聚酰亚胺基体的膜基体系,其中,溅射功率为120W。

2.根据权利要求1所述的一种制备自由态多面体纳米Ag颗粒的方法,其特征在于:镀膜设备为JCP-350形高真空磁控溅射镀膜机,其中,通过改变Ag片的数量调控所制备的Mo-Ag合金膜中Ag的含量,制备Mo-5 15at%Ag合金膜,薄膜厚度为50-500nm。

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3.根据权利要求1所述的一种制备自由态多面体纳米Ag颗粒的方法,其特征在于:对所制备的膜基体系退火处理工艺为:氩气气氛保护退火,退火温度100-300℃、退火时间30-

60min,使得Mo-Ag合金膜/聚酰亚胺基体的膜基体系的表面自形成纳米尺度多面体纯银颗粒。

4.根据权利要求3所述的一种制备自由态多面体纳米Ag颗粒的方法,其特征在于:纳米尺度的纯银颗粒,其尺度控制通过改变Mo-Ag合金膜中的Ag含量、退火温度或薄膜厚度的工艺参数调控Ag颗粒的尺寸。