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专利号: 2018102088867
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种低电阻泡沫金属的制备方法,其特征在于:以聚氨酯泡沫为骨架,在聚氨酯泡沫上采用磁控溅射工艺制备Ni-Al-Ni三层结构复合膜,其中,聚氨酯泡沫骨架上Ni-Al-Ni复合膜的厚度为20 30μm。

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2.根据权利要求1所述的一种低电阻泡沫金属的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、取聚氨酯泡沫进行预处理:清洗,并在KOH溶液中浸泡10 20min,然后采用去离~子水清洗后,置于酒精中超声波清洗3 5min;

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步骤二、在磁控溅射镀膜机上安装两块Al靶材,一块Ni靶材;

步骤三、以步骤一的聚氨酯泡沫为基片,在聚氨酯泡沫上镀打底Ni膜层;之后在打底Ni膜层上镀Al膜层,并在Al膜层上镀外Ni膜层。

3.根据权利要求2所述的一种低电阻泡沫金属的制备方法,其特征在于:步骤三中,打底Ni膜层和外Ni膜层的厚度均为50 100nm。

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4.根据权利要求2所述的一种低电阻泡沫金属的制备方法,其特征在于:步骤三中,采用磁控溅射镀膜机镀Ni的参数为:功率为200 300W,气压为0.5 1Pa,偏压为50 200W。

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5.根据权利要求2所述的一种低电阻泡沫金属的制备方法,其特征在于:步骤三采用双靶磁控溅射共沉积法镀Al膜层,功率为300 500W,气压为0.5 1Pa,偏压为50 200W,时间为~ ~ ~

6h。

6.根据权利要求5所述的一种低电阻泡沫金属的制备方法,其特征在于:设定自动工艺,功率每隔1h,直流电源有30 50W的上下移动。

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7.根据权利要求5所述的一种低电阻泡沫金属的制备方法,其特征在于:双靶磁控溅射共沉积法的真空度保持在4.0×10-5 Pa以下。