1.一种Co掺杂MoS2阵列原位电极的CVD制备方法,其特征在于,具体制备方法为:(1)钴盐和氯化钼溶于挥发非水溶剂中,获得Co-Mo前躯液;
(2)上述前躯液涂布到基底上,干燥后在Ar+S气氛中或N2+S气氛中,CVD硫化。
2.权利要求1 所述的Co掺杂MoS2阵列原位电极的CVD制备方法,其特征在于,挥发非水溶剂,包括:乙醇、N, N-二甲基甲酰胺。
3.权利要求1 所述的Co掺杂MoS2阵列原位电极的CVD制备方法,其特征在于,氯化钼溶于挥发非水溶剂,其中Co、Mo原子的浓度之和为200 700 mM,Co、Mo原子为任意浓度关系。
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4.权利要求1 所述的Co掺杂MoS2阵列原位电极的CVD制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述的干燥是在空气中干燥,或于热台上70 100℃快速干燥。
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5.权利要求1 所述的Co掺杂MoS2阵列原位电极的CVD制备方法,其特征在于,所述的基底包括碳布、石墨纸、铜或镍箔中的任意一种。
6.权利要求1 所述的Co掺杂MoS2阵列原位电极的CVD制备方法,其特征在于,CVD硫化,反应温度为600 800℃,反应时间为10 min 2 h。
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7.权利要求1 所述的Co掺杂MoS2阵列原位电极的CVD制备方法,其特征在于,Ar+S气氛或N2+S气氛中,Ar、N2为保护气体,气体流量1~10 SCCM;S气体为硫粉蒸发形成,硫粉的量远过量于钼原子。