1.一种透明薄膜厚度测量方法,其特征在于,包括如下步骤:
白光光源发出的平行光经过三角棱镜组反射到数字微镜器件上呈条纹光,条纹光经过三角棱镜组透射到准直透镜组,通过准直透镜组进行光路准直后透射到扩束镜组进行扩束;
分光镜将扩束后的条纹光透射到色散汇聚物镜组上,色散汇聚物镜组将不同颜色的光汇聚在透明薄膜的上下表面,透明薄膜的上下表面将不同颜色的光反射回到分光镜;
分光镜反射回来的光经过色散棱镜,色散棱镜将光按照不同波长色散开并经过汇聚目镜汇聚到视觉传感器的不同位置,根据视觉传感器中图像不同列的光强中心之间的距离,计算出透明薄膜的上下表面的距离,即可获得透明薄膜的厚度;
其中,所述色散汇聚物镜组、分光镜、扩束镜组、准直透镜组、三角棱镜组、数字微镜器件自右向左依次设置形成信号发送镜筒,所述色散棱镜、汇聚目镜和视觉传感器自下而上依次设置形成信号接收镜筒,所述白光光源设置在所述信号发送镜筒对应所述三角棱镜组的侧壁上,所述信号发送镜筒对应所述分光镜的侧壁上连接有所述信号接收镜筒。
2.根据权利要求1中所述的方法,其特征在于,
在计算出透明薄膜的上下表面的距离时,按照如下计算公式进行运算:S=KD+B;
其中,S为透明薄膜的厚度,D为视觉传感器两个不同位置之间的距离,K为斜率,B为截距值。
3.根据权利要求2中所述的方法,其特征在于,所述计算公式通过如下步骤获得,包括:通过对一系列厚度为S1至Sn的标准透明薄膜进行检测,对视觉传感器测量的图像进行预处理后获得一系列的不同列光强中心之间的距离D1至Dn,利用最小二乘法得到计算公式:S=KD+B。