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专利号: 2017109709426
申请人: 五邑大学
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用
更新日期:2024-04-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种ZnO基LED器件,其特征在于,在生长在p型衬底上的高质量氧化物/金属核壳结构量子点上,继续外延生长并制备ZnO基LED器件,其中包括p型衬底,高质量金属量子点核心,包覆金属量子点的金属氧化物壳层,p型NiO,n型ZnO,电极,具体的制备过程为:在氧化物/金属核壳结构量子点上生长Mg掺杂p型NiO薄膜,外延层的厚度约为500nm,其载流子的浓度为1×10(1)衬底的处理:将P型衬底放入去离子水中,在室温下超声清洗5min,去除P型衬底表面粘污颗粒,再依次经过盐酸、丙酮、乙醇洗涤,去除表面有机物,用高纯干燥氮气吹干,将P型衬底置于真空室中,真空度为8.6×10(2)金属超薄薄膜的制备:在温度为250℃的高真空条件下,真空度为4×10

(3)金属量子点的制备:在温度为800℃的高真空条件下,真空度为8.4×10

(4)金属氧化物壳层的制备:在温度为700℃通入0.004Torr的氧等离子体的条件下,对Pt金属量子点进行氧化处理60min,利用氧化反应在Pt金属量子点外面形成一层均匀的、厚度为2nm的金属氧化物壳层,从而获得了氧化物/金属核壳结构量子点;

所述氧化物/金属核壳结构量子点,包括由下至上依次排列的p型衬底、Pt金属量子点核心以及包覆金属量子点的金属氧化物壳层。

2.一种ZnO紫外光电探测器,其特征在于,将生长在p型衬底上的氧化物/金属核壳结构量子点用于制备光电探测器:在生长在p型衬底上的高质量氧化物/金属核壳结构量子点上,继续外延生长ZnO并制备光电探测器,其中包括p型衬底,高质量金属量子点核心,包覆金属量子点的金属氧化物壳层,n型ZnO和电极;具体制备过程为:在氧化物/金属核壳结构量子点上生长Al掺杂n型ZnO薄膜,外延层的厚度约为700nm,其载流子浓度为4.2×10(1)衬底的处理:将P型衬底放入去离子水中,在室温下超声清洗5min,去除P型衬底表面粘污颗粒,再依次经过盐酸、丙酮、乙醇洗涤,去除表面有机物,用高纯干燥氮气吹干,将P型衬底置于真空室中,真空度为8.6×10(2)金属超薄薄膜的制备:在温度为250℃的高真空条件下,真空度为4×10

(3)金属量子点的制备:在温度为800℃的高真空条件下,真空度为8.4×10

(4)金属氧化物壳层的制备:在温度为700℃通入0.004Torr的氧等离子体的条件下,对Pt金属量子点进行氧化处理60min,利用氧化反应在Pt金属量子点外面形成一层均匀的、厚度为2nm的金属氧化物壳层,从而获得了氧化物/金属核壳结构量子点;

所述氧化物/金属核壳结构量子点,包括由下至上依次排列的p型衬底、Pt金属量子点核心以及包覆金属量子点的金属氧化物壳层。