1.一种硅棒生产用几何尺寸测量装置,包括数控箱(1)、金相显微镜(2)、测控装置(4)和集成检测箱(5),其特征在于:所述数控箱(1)的顶端嵌入设置有第一显示器(101),所述第一显示器(101)的侧面连接有操作按钮(102),所述数控箱(1)的前上端设置有第二显示器(103),所述数控箱(1)的右侧贯穿连接有图像传输线(104),所述图像传输线(104)的另一端连接有集成检测箱(5),所述集成检测箱(5)的正面设置于测控装置,所述集成检测箱(5)的右侧套接有工具箱(504),所述集成检测箱(5)的顶端焊接有顶板(503),所述顶板(503)的中部嵌入设置有显像观察板(501),所述顶板(503)的四个角均固定连接有支撑柱(502),所述支撑柱(502)的顶端连接有观察板(3),所述观察板(3)的左侧通过支撑柱(502)连接有显微镜旋轴(2),所述显微镜旋轴(2)的末端套接有金相显微镜(201),所述测控装置(4)的内部贯穿设置有传输通道(401),所述测控装置(4)的正面设置有隔离板(402),所述隔离板(402)的底部连接有硅棒列位板(403),所述硅棒列位板(403)的两端嵌入设置有数据输出端口(404)。
2.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置,其特征在于:所述第一显示器(101)相对于数控箱(1)可折叠,且所述第一显示器(101)与金相显微镜(201)信号连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置,其特征在于:所述硅棒列位板(403)设置有6列,且两端数据输出端口(404)均为可拆卸结构。
4.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置,其特征在于:所述观察板(3)为采用钢化玻璃制作的高透玻璃。
5.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置,其特征在于:所述工具箱(504)分为三格,且相对于集成检测箱(5)可折叠。
6.根据权利要求1所述的一种硅棒生产用几何尺寸测量装置,其特征在于:所述集成检测箱(5)包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像。