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专利号: 2017107070615
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
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摘要:

权利要求书:

1.硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一:将硅片先后置于碱洗液和酸洗液浸泡各15分钟,以使硅片表面羟基化;

步骤二:将步骤一得到的硅片置于巯基丙基三甲氧基硅烷的甲苯溶液中,40℃温度下反应4-10小时,或室温下反应24-40小时,以使硅片硅烷化;巯基丙基三甲氧基硅烷的甲苯溶液中,巯基丙基三甲氧基硅烷的体积浓度1-5%;

步骤三:将步骤二得到的硅片置于0.25mM的硝酸银溶液中浸泡6-24小时;

步骤四:取出步骤三得到的硅片,置于5mM的硼氢化钠溶液中,反应30分钟;

步骤五:取出步骤四得到的硅片,置于硝酸银和聚乙烯吡咯烷酮的混合溶液中,搅拌30分钟,之后滴入1ml、0.5mM的抗坏血酸溶液;

步骤六:取出步骤五得到的硅片,用去离子水冲洗,重复步骤五2-5次;

步骤七:最后取出反应完的硅片用大量去离子水冲洗,并在去离子水中超声2分钟,吹干。

2.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤一中,碱洗液由氨水、双氧水、水混合得到,体积比为1:1:5。

3.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤一中,酸洗液由盐酸、双氧水、水混合得到,体积比为1:1:5。

4.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤一中,碱洗和酸洗后均用大量去离子水冲洗,并超声清洗2分钟。

5.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤一中,表面羟基化的硅片用氮气吹干。

6.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤二中,硅烷化的硅片分别置于甲苯、乙醇体积比1:1的甲苯/乙醇混合液、乙醇、去离子水中各超声2分钟。

7.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤三中,浸泡后的硅片用去离子水冲洗,超声2分钟。

8.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤四中,反应后的硅片用去离子水冲洗,超声2分钟。

9.根据权利要求1所述的硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法,其特征在于:步骤五中,硝酸银和聚乙烯吡咯烷酮的混合溶液中,硝酸银的浓度为0.25mM,聚乙烯吡咯烷酮的浓度为0.75mM。