1.一种基于多个法布里‑珀罗微腔的光纤气压传感装置的制作方法,包括宽带光源,环形器,传感头,光纤光谱分析仪,其连接方式为:环形器进口端与宽带光源连接,环形器出口端与光纤传感头连接,环形器反馈端和光纤光谱仪相连接;其特征在于:所述的传感头,由石英毛细管与单模光纤构成;
所述传感头的制作方法是:将单模光纤与毛细管放置在光纤熔接机的两端,在熔接机提供的两端压力作用下,毛细管端面紧贴单模光纤端面,在放电功率为45bit,放电时间为
3000ms的熔接模式下进行连续放电,直至毛细管的一部分膨胀为空心球腔,并且在单模光纤‑毛细管的熔接处形成毛细管薄层;最后在毛细管一侧,远离单模光纤毛细管的熔接处
410μm处切割毛细管,形成毛细管切割面;毛细管薄层、球型空气腔与毛细管切割端面共同构成多个法布里‑珀罗微腔结构;当传感器头受到气体压力或温度变化时,腔长度或腔介质折射率将改变,导致法布里‑珀罗腔的光程差的变化并导致输出光谱图案漂移,由于在输出光谱中存在多个波谷,可以通过跟踪两个波谷波长的漂移来实现气体压力和温度的同时检测;
在熔接机连续放电作用下,其毛细管中的一部分膨胀为空心球腔,并在单模光纤‑毛细管的熔接面形成石英毛细管薄层。
2.根据权利要求1所述的一种基于多个法布里‑珀罗微腔的光纤气压传感装置的制作方法,其特征是:所述单模光纤纤芯直径为8.2μm,光纤直径为125μm。
3.根据权利要求1所述的一种基于多个法布里‑珀罗微腔的光纤气压传感装置的制作方法,其特征是:所述石英毛细管附着在单模光纤上的毛细管段,其内径为50μm,外径为150μm。