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专利号: 2017100708998
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置,其特征在于:包括上止推盘、主轴、下止推盘、轴套、气室外套、用于测定气体流速的线状传感器以及主轴保持架,所述上止推盘、下止推盘分别与所述主轴的上下两端面同轴密封固接,三者共同形成用于容纳轴套的凹腔;所述轴套套在所述主轴外部,所述轴套与凹腔之间的间隙作为气模的容纳腔;所述轴套的外壁设有用于容纳气室外套的凹槽,所述轴套外部套装所述气室外套,并且所述凹槽的上下槽壁分别与所述气室外套上下两端面密封固接;所述轴套设有轴向节流孔、轴向细孔、多组径向节流孔和多组径向细孔,所述轴向节流孔和轴向细孔均贯穿凹槽上下槽壁,轴向节流孔与凹槽内腔连通,轴向细孔与外腔连通;同组径向节流孔分布在同一个第一轴套轴截面上,不同组径向节流孔所在的第一轴套轴截面相互平行;同组径向细孔分布在同一个第二轴套轴截面上,不同组径向细孔位于彼此平行的第二轴套轴截面上;所述轴套设有两组径向节流孔和两组径向细孔不同组的径向节流孔一一对应,不同组的径向细孔一一对应,所述第一轴套轴截面、所述第二轴套轴截面从轴套两端向中间对称布置,所述第一轴套轴截面、所述第二轴套轴截面均与轴套中心轴垂直;轴向节流孔中心轴与轴套中心轴的距离相等,即同一轴截面上的轴向节流孔中心落在以轴套中心轴第一基圆上;轴向细孔中心轴与轴套中心轴的距离相等,即同一轴截面上的轴向节流孔中心落在以轴套中心轴第二基圆上;上述的轴截面与轴套中心轴垂直;所述气室外套的壁面上设有进气孔以及与径向细孔位置一一对应的安装通孔;所述轴向细孔和所述径向细孔均从外部插入相应的线状传感器,且线状传感器的头部都伸入气模内;所述主轴保持架设有用于卡入上止推盘和/或下止推盘的卡槽。

2.如权利要求1所述的一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置,其特征在于:部分线状传感器从气室外套和轴套上均布的径向细孔插入,线状传感器的头部伸入气膜且不与主轴接触;部分线状传感器从轴套上均布的轴向细孔插入,线状传感器的头部伸入气膜且不与相应的上止推盘或下止推盘接触;所述线状传感器的头部伸出轴套的距离相等。

3.如权利要求2所述的一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置,其特征在于:所述线状传感器与轴套的径向细孔、气室外套上的径向安装通孔、轴向细孔之间通过填料进行密封,所述的填料为密封胶。

4.如权利要求3所述的一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置,其特征在于:所述的线状传感器为光纤气流速度传感器。