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专利号: 2016205236744
申请人: 南昌理工学院
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种新型结构多晶铸锭炉用的坩埚,其特征在于,包括方形的坩埚本体及坩埚本体内的多个竖直的隔板,所述隔板将坩埚本体分隔成多个区间,所述隔板与所述坩埚本体可拆卸地连接,所述坩埚本体的内表面及所述隔板的表面均依次凃敷有氧化硅层、氮化硅层、多晶硅颗粒层,所述多晶硅颗粒层上设置多个凹陷。

2.如权利要求1所述的新型结构多晶铸锭炉用的坩埚,其特征在于,所述隔板上设有滑块,所述坩埚本体的内壁设有与所述滑块相匹配的滑道。

3.如权利要求1所述的新型结构多晶铸锭炉用的坩埚,其特征在于,所述隔板设置4个,且均从所述坩埚本体的中心延伸至所述坩埚本体的侧壁。

4.如权利要求1所述的新型结构多晶铸锭炉用的坩埚,其特征在于,所述凹陷呈矩阵排列。

5.如权利要求1所述的新型结构多晶铸锭炉用的坩埚,其特征在于,所述氮化硅层的厚度为所述氧化硅层厚度的两倍。

6.如权利要求1所述的新型结构多晶铸锭炉用的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体及所述隔板均为石英材质。