1.一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，其特征在于：包括中心质量块（1）、第一至第四环岛质量块（201 204）、第一至第四大锚块（301 304）、第一至第十六Ω形支撑梁（401~ ~ ~

416）、第一至第四连接梁（501 504）、第一至第八梳状微谐振器（601 608）、第一至第八小锚~ ~

块（701 708）；

~

其中，第一环岛质量块（201）位于中心质量块（1）的前方；第一环岛质量块（201）的后表面与中心质量块（1）的前表面平行；第一环岛质量块（201）的左表面与中心质量块（1）的左表面齐平；第一环岛质量块（201）的右表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第二环岛质量块（202）位于中心质量块（1）的后方；第二环岛质量块（202）的前表面与中心质量块（1）的后表面平行；第二环岛质量块（202）的左表面与中心质量块（1）的左表面齐平；第二环岛质量块（202）的右表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第三环岛质量块（203）位于中心质量块（1）的左方；第三环岛质量块（203）的右表面与中心质量块（1）的左表面平行；第三环岛质量块（203）的前表面与中心质量块（1）的前表面齐平；第三环岛质量块（203）的后表面与中心质量块（1）的后表面齐平；第四环岛质量块（204）位于中心质量块（1）的右方；第四环岛质量块（204）的左表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第四环岛质量块（204）的前表面与中心质量块（1）的前表面齐平；第四环岛质量块（204）的后表面与中心质量块（1）的后表面齐平；

第一大锚块（301）的前表面与第一环岛质量块（201）的前表面齐平；第一大锚块（301）的后表面与第一环岛质量块（201）的后表面齐平；第一大锚块（301）的左表面与第三环岛质量块（203）的左表面齐平；第一大锚块（301）的右表面与第三环岛质量块（203）的右表面齐平；第二大锚块（302）的前表面与第一环岛质量块（201）的前表面齐平；第二大锚块（302）的后表面与第一环岛质量块（201）的后表面齐平；第二大锚块（302）的左表面与第四环岛质量块（204）的左表面齐平；第二大锚块（302）的右表面与第四环岛质量块（204）的右表面齐平；

第三大锚块（303）的前表面与第二环岛质量块（202）的前表面齐平；第三大锚块（303）的后表面与第二环岛质量块（202）的后表面齐平；第三大锚块（303）的左表面与第三环岛质量块（203）的左表面齐平；第三大锚块（303）的右表面与第三环岛质量块（203）的右表面齐平；第四大锚块（304）的前表面与第二环岛质量块（202）的前表面齐平；第四大锚块（304）的后表面与第二环岛质量块（202）的后表面齐平；第四大锚块（304）的左表面与第四环岛质量块（204）的左表面齐平；第四大锚块（304）的右表面与第四环岛质量块（204）的右表面齐平；

第一Ω形支撑梁（401）的两端分别与第一环岛质量块（201）的左表面中部和第一大锚块（301）的右表面中部固定；第二Ω形支撑梁（402）的两端分别与中心质量块（1）的左表面前部和第三环岛质量块（203）的右表面前部固定；第三Ω形支撑梁（403）的两端分别与第三环岛质量块（203）的前表面中部和第一大锚块（301）的后表面中部固定；第四Ω形支撑梁（404）的两端分别与中心质量块（1）的前表面左部和第一环岛质量块（201）的后表面左部固定；第五Ω形支撑梁（405）的两端分别与第一环岛质量块（201）的右表面中部和第二大锚块（302）的左表面中部固定；第六Ω形支撑梁（406）的两端分别与中心质量块（1）的右表面前部和第四环岛质量块（204）的左表面前部固定；第七Ω形支撑梁（407）的两端分别与中心质量块（1）的前表面右部和第一环岛质量块（201）的后表面右部固定；第八Ω形支撑梁（408）的两端分别与第四环岛质量块（204）的前表面中部和第二大锚块（302）的后表面中部固定；

第九Ω形支撑梁（409）的两端分别与中心质量块（1）的左表面后部和第三环岛质量块（203）的右表面后部固定；第十Ω形支撑梁（410）的两端分别与第二环岛质量块（202）的左表面中部和第三大锚块（303）的右表面中部固定；第十一Ω形支撑梁（411）的两端分别与第三环岛质量块（203）的后表面中部和第三大锚块（303）的前表面中部固定；第十二Ω形支撑梁（412）的两端分别与中心质量块（1）的后表面左部和第二环岛质量块（202）的前表面左部固定；第十三Ω形支撑梁（413）的两端分别与中心质量块（1）的右表面后部和第四环岛质量块（204）的左表面后部固定；第十四Ω形支撑梁（414）的两端分别与第二环岛质量块（202）的右表面中部和第四大锚块（304）的左表面中部固定；第十五Ω形支撑梁（415）的两端分别与中心质量块（1）的后表面右部和第二环岛质量块（202）的前表面右部固定；第十六Ω形支撑梁（416）的两端分别与第四环岛质量块（204）的后表面中部和第四大锚块（304）的前表面中部固定；

第一连接梁（501）垂直固定于第一环岛质量块（201）的前表面中部；第二连接梁（502）垂直固定于第二环岛质量块（202）的后表面中部；第三连接梁（503）垂直固定于第三环岛质量块（203）的左表面中部；第四连接梁（504）垂直固定于第四环岛质量块（204）的右表面中部；

第一梳状微谐振器（601）的谐振梁垂直固定于第一连接梁（501）的左表面前部；第二梳状微谐振器（602）的谐振梁垂直固定于第一连接梁（501）的右表面前部；第三梳状微谐振器（603）的谐振梁垂直固定于第二连接梁（502）的左表面后部；第四梳状微谐振器（604）的谐振梁垂直固定于第二连接梁（502）的右表面后部；第五梳状微谐振器（605）的谐振梁垂直固定于第三连接梁（503）的前表面左部；第六梳状微谐振器（606）的谐振梁垂直固定于第三连接梁（503）的后表面左部；第七梳状微谐振器（607）的谐振梁垂直固定于第四连接梁（504）的前表面右部；第八梳状微谐振器（608）的谐振梁垂直固定于第四连接梁（504）的后表面右部；

第一小锚块（701）的右表面中部与第一梳状微谐振器（601）的谐振梁左端固定；第一小锚块（701）的左表面与第一大锚块（301）的左表面齐平；第二小锚块（702）的左表面中部与第二梳状微谐振器（602）的谐振梁右端固定；第二小锚块（702）的右表面与第二大锚块（302）的右表面齐平；第三小锚块（703）的右表面中部与第三梳状微谐振器（603）的谐振梁左端固定；第三小锚块（703）的左表面与第三大锚块（303）的左表面齐平；第四小锚块（704）的左表面中部与第四梳状微谐振器（604）的谐振梁右端固定；第四小锚块（704）的右表面与第四大锚块（304）的右表面齐平；第五小锚块（705）的后表面中部与第五梳状微谐振器（605）的谐振梁前端固定；第五小锚块（705）的前表面与第一大锚块（301）的前表面齐平；第六小锚块（706）的前表面中部与第六梳状微谐振器（606）的谐振梁后端固定；第六小锚块（706）的后表面与第三大锚块（303）的后表面齐平；第七小锚块（707）的后表面中部与第七梳状微谐振器（607）的谐振梁前端固定；第七小锚块（707）的前表面与第二大锚块（302）的前表面齐平；第八小锚块（708）的前表面中部与第八梳状微谐振器（608）的谐振梁后端固定；第八小锚块（708）的后表面与第四大锚块（304）的后表面齐平。

2.根据权利要求1所述的双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，其特征在于：中心质量块（1）为正方形块体；第一至第四环岛质量块（201 204）均为长方形块体；第一至第四环岛质~量块（201 204）的尺寸一致；第一至第四大锚块（301 304）均为正方形块体；第一至第四大~ ~

锚块（301 304）的尺寸一致；第一至第十六Ω形支撑梁（401 416）的尺寸一致；第一至第四~ ~

连接梁（501 504）的尺寸一致；第一至第八梳状微谐振器（601 608）的尺寸一致；第一至第~ ~

八小锚块（701 708）均为正方形块体；第一至第八小锚块（701 708）的尺寸一致。

~ ~

3.根据权利要求1所述的双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，其特征在于：中心质量块（1）、第一至第四环岛质量块（201 204）、第一至第四大锚块（301 304）、第一至第十六Ω形~ ~支撑梁（401 416）、第一至第四连接梁（501 504）、第一至第八梳状微谐振器（601 608）、第~ ~ ~

一至第八小锚块（701 708）均采用单晶硅片加工而成。

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