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专利号: 2016111371288
申请人: 安阳工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多晶硅的提纯方法,其特征在于包括以下步骤:

A:将原料多晶硅研磨至粒度为36-260μm;

B:将研磨后的多晶硅在氩气保护下以5℃/min的速度从室温煅烧至1050±5℃,保持

0.5h;再以1℃/min速度继续加热至1250±5℃,保持0.5h,加热的同时不断抽气,然后将硅在冷水中快速淬火至室温,金属硅表面出现炸纹;

C:将淬火后的多晶硅在酸洗液中酸洗,酸洗工艺为:

C1:酸洗液配制,按照摩尔比氢氟酸8-10份:硝酸8-10份:去离子水70-75份配制酸洗液;

C2:将淬火后的多晶硅投入酸洗液中酸洗2-2.5小时,投入多晶硅的质量为酸洗液质量的3.5-7%酸洗液温度50℃-75℃,磁子搅拌速度为1500r/min;

C3:加入络合剂酸洗,在步骤C2完成后,在多晶硅和酸洗液的混合体系中加入络合剂,加入络合剂的摩尔数为氢氟酸摩尔数的0.4-0.6倍; 所述的络合剂为山梨醇或卫茅醇或甘露醇或β-D呋喃果糖;继续酸洗3-5h,然后过滤多晶硅,再用去离子水冲洗至中性,得提纯后的多晶硅。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅的提纯方法,其特征在于:步骤B中将研磨后的多晶硅在氩气保护下煅烧温度至650±45℃至时向煅烧炉内滴入甲醇,滴入甲醇的速度为每

100g多晶硅滴加量为50滴/min,直至煅烧结束。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅的提纯方法,其特征在于:步骤B中的冷水采用0℃的冰水混合物。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅的提纯方法,其特征在于:所述酸洗液采用以下摩尔比的物质配制而成:氢氟酸10份,硝酸9份,去离子水73份。