1.一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，包括电源输入端、单向导通电路、预充电电阻、电子开关、门极电压缓启动电路以及电源输出端，电源输入端与单向导通电路的输入端连接，单向导通电路的输出端与预充电电阻的输入端连接，预充电电阻的输出端与电源输出端连接，单向导通电路的输出端与电子开关的第一输入端连接，电子开关的输出端与电源输出端连接，电源输入端与快速放电电路的输入端连接，快速放电电路的输出端与门极电压缓启动电路的输入端连接，门极电压缓启动电路的输出端与电子开关的第二输入端连接。

2.根据权利要求1所述的一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，其特征在于：单向导通电路用于实现电源关断瞬间对门极电压缓启动电路中储能元件的快速放电，保证了在反复上电、断电情况下的浪涌电流抑制能力，单向导通电路为一种二极管，或是由MOSFET构成的近似理想二极管电路。

3.根据权利要求1所述的一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，其特征在于：在电子开关未导通期间，经过预充电电阻对ALD设备中的储能电容预充电，预充电电阻的阻值计算由电源电压和规定的浪涌电流阈值决定。

4.根据权利要求1所述的一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，其特征在于：门极电压缓启动电路中通过增加一个电压负反馈电阻来调节缓启动速度，有别于通常的通过改变缓启动电路中电容值来改变缓启动速度的方案，保证了门极电压缓启动电路在应用于包含有不同容量储能电容的ALD产品过程中的灵活性。