1.一种采用流化床反应器合成氮化硅的系统,包括流化床反应器、氮气供应单元以及硅粉供料单元,其特征在于:流化床反应器包括壳体,壳体的下部腔体用于氮气与硅粉在流态化状态下进行氮化反应,壳体底部的壳壁上设置供气口和供料口,氮气供应单元包括用于加热氮气的加热装置,加热装置的出气口与供气口相连接,硅粉供料单元包括用于盛装硅粉的投料桶和文丘里加料器,投料桶的出料口与文丘里加料器的粉料入口相连接,文丘里加料器的出料口与供料口相连接,壳体顶部的出料口与回收合成氮化硅的旋风分离器相连接。
2.根据权利要求1所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于:还包括过滤器和引风机,旋风分离器顶部出风口与过滤器相连接,过滤器的出风口与引风机相连接,引风机的出风口分两路风别连接文丘里加料器的气体入口以及加热装置的进气口。
3.根据权利要求1所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于:壳体的上部腔体内设置有管式换热器A,管式换热器A的冷流体入口与文丘里加料器的出料口相连接,管式换热器A的冷流体出口与供料口相连接。
4.根据权利要求1或2或3所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于:壳体的上部腔体内设置有管式换热器C,管式换热器C的冷流体入口与氮气源相连接,管式换热器C的冷流体出口与加热装置的进气口相连接。
5.根据权利要求4所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于:壳体的上部腔体内设置有管式换热器B,管式换热器B的冷流体入口与引风机的出风口相连接,管式换热器B的冷流体出口与加热装置的进气口相连接。
6.根据权利要求5所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于:管式换热器A、B、C在壳体的上部腔体内由下至上依次排列设置。
7.根据权利要求1所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于:供气口处设置有一排水平布置的供气管,供气管的出气端延伸至壳体内腔内,并在壳体内腔内的管身处设置出气孔,壳体底部内腔内设置有排列状布置的挡板,挡板立状固定在壳体的内壁面上,挡板的下端与壳体的壳底呈分离状布置,供气管与挡板的下端相平齐对应布置,挡板设置在相邻的两供气管之间。
8.根据权利要求7所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于,出气孔包括第一、二出气孔,第一、二出气孔沿供气管的管身成对间隔设置,第一、二出气孔处的气体流向均为斜向下且分别指向供气管的两外侧,第一出气孔的中心线与铅垂线的夹角为30°,第二出气孔的中心线与铅垂线的夹角为45°,第一出气孔设置在供气管上靠近供料口一侧的管壁上。
9.根据权利要求7所述的采用流化床反应器合成氮化硅的系统,其特征在于,管式换热器C与氮气源相连接的管道上设置氮气流量控制阀A和鲜氮气控制装置,鲜氮气控制装置调控氮气流量控制阀A的运行状态;引风机的出风口与文丘里加料器气体入口之间的连接管道上设置氮气流量控制阀B和送硅粉氮气控制装置,送硅粉氮气控制装置调控氮气流量控制阀B的运行状态;加热装置与温度控制装置相连接,温度控制装置调控加热装置的出口氮气温度;壳体顶部的出料口处设置测压装置A和测温装置A,管式换热器A、B之间设置测温装置B,管式换热器B、C之间设置测温装置C,管式换热器C与挡板之间设置测压装置B和测温装置D,相邻挡板之间夹合形成供物料通过的通道,通道的上端设置测温装置E,通道的下端设置测温装置F,管式换热器B的冷流体入口与引风机的出风口相连接的管道上设置测压装置C和测温装置G,管式换热器A与加热装置相连接的管道上设置测温装置H。