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专利号: 2016106673790
申请人: 常州大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种大面积钙钛矿太阳能电池的制作系统,其特征在于,包括:空穴传输层制备室、进样室、第一蒸发室、第二蒸发室和金属电极制备室,所述进样室与所述第一蒸发室连通,所述第一蒸发室和第二蒸发室连通,所述进样室与所述第一蒸发室之间设有第一传递门,所述第一蒸发室和第二蒸发室之间设有第二传递门,所述进样室连通有第一真空泵组,所述第一蒸发室连通有第二真空泵组,所述第二蒸发室连通有第三真空泵组,所述第一蒸发室内设有蓬头、升华罐、用于对升华罐抽真空的真空泵和惰性气体输入装置,所述蓬头具有多个孔状结构,相邻两个所述孔状结构的间距为1cm,所述孔状结构的孔径为200-500um,所述蓬头与升华罐相连接,所述升华罐的底部设有高为0.5cm、直径为0.5cm的圆柱状凸起,所述升华罐连接真空泵,所述惰性气体输入装置连接所述升华罐。

2.根据权利要求1所述的大面积钙钛矿太阳能电池的制作系统,其特征在于,所述第二蒸发室内设有不锈钢盘和加热器,所述不锈钢盘放置于所述加热器上。