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专利号: 2016103308390
申请人: 江南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2023-10-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种导模共振耦合光栅结构,其特征在于,是由带二分之一虚设层厚度的、等同的、上下两个堆叠的亚波长光栅构成,上下两个堆叠的亚波长光栅采用自支撑结构或者带基底结构;

以TM偏振光入射,入射角θi由式(1)确定,光栅深度d由式(2)确定;式(1)中,nc和ns分别为入射媒质和基底的折射率;式(2)中,λ为设计波长;ne如式(4)所示,为亚波长光栅形式双折射现象对应e光的折射率;no如式(3)所示,为亚波长光栅形式双折射现象对应的o光的折射率;式(3)、式(4)中f为光栅填充系数,nH和nL分别为光栅层材料的高、低折射率;

θi=arctan(ns/nc)式(1),

2.根据权利要求1所述的一种导模共振耦合光栅结构,其特征在于,上下两个堆叠的亚波长光栅采用电子束刻蚀或离子束辅助刻蚀或纳米压印等方法制备。

3.一种导模共振滤波器,其特征在于,含有权利要求1-2任一所述的导模共振耦合光栅结构。

4.一种动态调导模共振滤波器反射光谱带宽大小的方法,其特征在于,利用权利要求

1-2任一所述的导模共振耦合光栅结构,在布儒斯特角附近针对TM偏振入射光,在设计波长处动态调导模共振滤波器反射光谱带宽大小,在确定了设计波长、光栅结构参数和对应的布儒斯特角的基础上,通过选择光栅周期,在设计波长处实现抗反射滤波特性。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,利用导模共振耦合光栅结构的上下两个堆叠的亚波长光栅间微/纳米级的相对横移,实现对导模共振滤波器反射带宽大小的连续调控。

6.根据权利要求4或5所述的方法,其特征在于,当上下两个堆叠的亚波长光栅发生微/纳米级的相对横移时,如果导致微小的滤波器峰值波长漂移现象,通过微调入射角实现对滤波器峰值漂移的补偿。