1.一种氮掺杂二氧化钛薄膜材料的制备方法，其特征在于：所述制备方法为利用氮离子束将氮元素掺杂注入二氧化钛薄膜表面，得到氮掺杂二氧化钛薄膜材料；

产生所述氮离子束的离子源阳极电压为500-3500 V；

所述氮离子束垂直于二氧化钛薄膜表面；

所述二氧化钛薄膜的晶体结构为非晶、多晶或非晶与多晶的混合。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述掺杂注入的温度为室温。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述氮离子束与二氧化钛薄膜表面的距离为5-15 cm。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述掺杂注入的时间为5-20 min。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：产生所述氮离子束的离子源功率密度为0.5-4.0 W/cm2。