1.一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置，包括机构底座(19)、设置在机构底座(19)上的支撑架(20)以及待加工工件(12)，所述机构底座(19)上设有进给机构，所述进给机构由横向进给机构(18)、纵向进给机构(17)和轴向进给机构(16)组成；其特征在于：所轴向进给机构(16)设置于纵向进给机构(17)上方，纵向进给机构(17)下方设置有横向进给机构(18)，横向进给机构(18)设在机构底座(19)的横向导轨上，轴向进给机构（16）、纵向进给机构(17)和横向进给机构(18)中都设有伺服电机与滚珠丝杠导轨，实现联动微细进给，所述轴向进给机构(16)上固定设有超声振动装置(14)，所述超声振动装置(14)由振动装置底板(21)、支架板、超声换能器(26)和变幅杆(10)构成，振动装置底板(21)通过螺栓(15)固定在轴向进给机构(16)上，支架板通过螺钉固定在振动装置底板(21)上，超声换能器(26)和下变幅杆(27)均置于支架板上；支架板、超声换能器(26)和下变幅杆(27)配套安装且数量相同，所述振动装置底板(21)上设有工作台(13)，所述待加工工件(12)置于所述工作台(13)的上方，所述支撑架(20)的上端设有压电式超声换能器(9)、上变幅杆(10)和工具电极(11)；

所述机构底座(19)一侧还设有电解加工装置，所述电解加工装置由超声电源(1)、信号转发器(2)、电解单元、超声辅助单元和调节控制电路(6)组成，所述调节控制电路(6)置于所述电解单元和超声辅助单元之间；

所述电解单元由电解电源(3)、限流电阻(4)、超声斩波电路(5)组成；

所述超声辅助单元由超声波发生器(8)和功率放大电路(7)组成；

所述功率放大电路(7)的一端与所述超声换能器(26)相接，所述功率放大电路(7)的另一端和所述超声斩波电路(5)合并连接在所述信号转发器(2)上，所述工作台(13)与所述超声斩波电路(5)作用相接，所述信号转发器(2)和超声电源(1)串联作用在所述压电式超声换能器(9)上，所述工具电极(11)正对所述待加工工件(12)并进行超声频机械振动。

2.根据权利要求1所述的一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置，其特征在于：

所述支架板的数量为4个。

3.根据权利要求1所述的一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置，其特征在于：

所述振动装置底板(21)的中间设有拥有支撑工作台(13)的凸台(30)，凸台(30)对称分布在振动装置底板(21)的中心，凸台(30)的数量为4个。

4.根据权利要求1～3所述的任意一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置，其特征在于：所述超声波发生器(8)为频率可调式发生器。

5.根据权利要求1～3所述的任意一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置，其特征在于：所述电解电源(3)选用5000HZ的高频率脉冲电源。

6.根据权利要求1～3所述的任意一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置，其特征在于：所述限流电阻(4)为可调节电阻。