1.一种超声波研磨微小凹模加工方法，其特征在于：所述方法的加工设备包括用于存放研磨液的容器，所述容器的内腔底面为工作台，所述工作台上固定基片，所述基片的上方依次布置定位板和振动板，所述振动板位于所述定位板的上方，所述定位板的两侧开有下安装孔，所述振动板的两侧开有上安装孔，销钉下端固定在所述基片上，所述销钉的中部设有自上而下布置的上凸包和下凸包，销钉穿过所述上安装孔和下安装孔，所述上凸包与所述上安装孔点接触式连接，所述下凸包和所述下安装孔点接触式连接，所述定位板的中部开有供研磨球安装的定位孔，所述定位孔内安装研磨球，所述研磨球的上端与所述振动板的底面接触，所述研磨球与所述基片之间为供待加工的工件放置的加工工位，所述振动板的顶面与振动杆的下端接触，所述振动杆的上端与换能器的输出端连接，所述换能器与超声波发生器连接；所述加工方法包括如下过程：研磨球和待加工的工件均位于研磨液内；超声波发生器在发出超声波后，通过换能器将输入之超声波声频电振荡转换成机械振动，然后将超声振动传递给振动杆，使其产生上下振动，振动杆产生的振动传递给振动板，通过振动板将振动传递给位于定位板上的研磨球，使研磨球产生的振动能够快速的撞击研磨液中的磨粒磨料，以使工件上产生所需的凹模。

2.如权利要求1所述的超声波研磨微小凹模加工方法，其特征在于：工作台所在装有研磨液的容器，其从一端通入研磨液，并从另一端以相同速度流出，使得研磨球在撞击磨粒磨料研磨工件后，通过研磨液的流体力作用使得研磨球上升并继续下一次的撞击。

3.如权利要求1或2所述的超声波研磨微小凹模加工方法，其特征在于：所述换能器位于冷却外壳内，所述冷却外壳设有冷却进口和冷却出口，所述冷却进口与冷却水箱的出口通过连通管连通，所述连通管上安装水泵，所述冷却出口与所述冷却水箱的进口连通；在开启超声波发生器之前，开启所述水泵。

4.如权利要求1或2所述的超声波研磨微小凹模加工方法，其特征在于：所述研磨液中的磨料为以下一种或两种组合或两种以上组合：金刚石、碳化硅、氧化铝、碳化硼、二氧化硅、氧化铬或氧化锶。

5.如权利要求1或2所述的超声波研磨微小凹模加工方法，其特征在于：所述研磨液的流速和粘度可调。