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专利号: 2014105915280
申请人: 西安建筑科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶体生长设备,其特征在于,该设备包括加热炉(1)、反应室(2)、密封装置(3)和减压装置(4),所述的反应室(2)的下部埋设在加热炉(1)内,密封装置(3)密封反应室(2)的上部,减压装置(4)与密封装置(3)连通。

2.如权利要求1所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的密封装置(3)包括法兰盖(301)、法兰盘(302)及连通管(306),其中:所述的法兰盖(301)包覆反应室(2)的口部,法兰盘(302)将法兰盖(301)与反应室(2)密封;

连通管(306)与法兰盖(301)一体式连通,减压装置(4)通过连通管(306)与反应室(2)的内部空间连通。

3.如权利要求2所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的法兰盖(301)包括上部的密封盖和与密封盖同轴连接的下部套管,法兰盖(301)的下部套管贴合在反应室(2)的口部外周;

所述的法兰盘(302)为与法兰盖(301)同轴贴合的圆环状部件,沿法兰盘(302)的下部圆周方向设有冷却盘(303),法兰盘(302)和冷却盘(303)包合在法兰盖(301)下部套管的外周;

沿所述的冷却盘(303)的内侧圆周上设有凸环(305),凸环(305)与法兰盖(301)的下部套管的底周接合,且在凸环(305)与法兰盖(301)的下部套管的接合处设有密封圈(304);

所述的凸环(305)有多个,相邻的凸环(305)间设有密封圈(304)。

4.如权利要求2或3所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的密封装置(3)上还设有动密封装置(6),动密封装置(6)包括定位管(601)、定位块(602)、定位头(603)、加固台(604)、密封法兰(605)和籽晶夹持器(606);

所述的定位管(601)为一端开口另一端封闭的管体,加固台(604)为法兰构件,加固台(604)将定位管(601)的开口端固定在密封法兰(605)上,定位管(601)与密封装置(3)上的法兰盖(301)通过密封法兰(605)密封连通;

定位块(602)为包合在定位管(601)外周的磁性块,定位头(603)为位于定位管(601)内的磁性头,且定位头(603)与籽晶夹持器(201)同轴连接,定位块(602)通过磁力作用控制定位头(603)在定位管(601)内移动。

5.如权利要求4所述的晶体生长设备,其特征在于,以所述的籽晶夹持器(606)为中线对称的设有限位片(202),限位片(202)通过接长杆固定在所述法兰盖(301)上,限位片(202)与籽晶夹持器(201)相距5~10mm。

6.如权利要求1、2、3或5所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的反应室(2)的底部内放置原料室(205),原料室(205)盛装原料并使原料熔融。

7.如权利要求1、2、3或5所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的反应室(2)内设有隔热片(204),隔热片(204)为带有至少两个穿孔的圆形片体,沿反应室(2)的内周上设有定位凸环(205),隔热片(204)同轴式卡在定位凸环(205)上。

8.如权利要求2、3或5所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的减压装置(4)为四通管构件,四通管的一通与密封装置(3)上的连通管(306)密封连通,四通管的另外三通分别连通测压计(401)、放气阀(402)和真空泵(403)。

9.如权利要求1、2、3或5所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的加热炉(1)包括密闭的保温腔体及设在保温腔体内的加热圈(101),加热圈(101)围绕反应室(2)的下部。

10.权利要求1~9任一权利要求所述的晶体生长设备作为氟代硼玻酸钾晶体生长设备的应用。