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专利号: 2014103136342
申请人: 江苏大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种金属-绝缘体层-半导体太阳能电池,所述太阳能电池从顶层至底层依次为:Ag网格栅线、减反射层、金属薄膜、Ga2O3绝缘层、p型硅片、Al背面场;在金属薄膜上设有减反射层,减反射层为Ga2O3,厚度为60-150nm,其特征在于:Ga2O3绝缘层薄膜和Ga2O3减反射层薄膜采用ALD或等离子体化学气相沉积技术制备;其中,采用ALD技术制备Ga2O3时,以三甲基镓为镓源,以水为氧源,控制生长温度为100~200℃,脉冲循环为1~1000;其中,采用等离子体化学气相沉积技术,以三甲基镓等为镓源,以氮气携带去离子水为氧源,控制生长温度为

100~300℃,压强为5~10Pa,射频功率为100W。

2.如权利要求1所述的一种金属-绝缘体层-半导体太阳能电池,其特征在于:所述Ga2O3绝缘层的厚度为1-20nm。

3.如权利要求1所述的一种金属-绝缘体层-半导体太阳能电池,其特征在于:所述金属薄膜,厚度为5-15nm。

4.如权利要求1所述的一种金属-绝缘体层-半导体太阳能电池,其特征在于:所述p型硅片厚度为200μm-650μm。

5.如权利要求1所述的一种金属-绝缘体层-半导体太阳能电池,其特征在于:在p型硅片背面设有Al背面场,Al背面场厚度为100-500nm。

6.如权利要求1所述的一种金属-绝缘体层-半导体太阳能电池,其特征在于:在减反射层内设有Ag网格栅线。