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专利号: 2014102653055
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:无效专利
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2023-07-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于包括下述步骤:(1)在驻极体基材的一面蒸镀第一金属电极;

(2)在驻极体基材的另一面蒸镀第二金属电极;所述第二金属电极由若干个金属膜间隔设置而成,相邻的两个金属膜间距1mm以上;

(3)施加交流高压电场进行电晕极化,电场强度为20~40KV/cm,交流电的频率为30~

1000HZ,极化温度为20~200℃,极化时间为5~60min;

(4)在维持电压不变的情况下降至室温,撤去电场,即得到图形化薄膜驻极体。

2.根据权利要求1所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述第二金属电极中,金属膜呈等间距阵列式分布。

3.根据权利要求1所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述第二金属电极中,各金属膜为同心设置的环,相邻的两个环半径之差大于1mm。

4.根据权利要求1所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:相邻的两个金属膜间距为毫米量级。

5.根据权利要求1所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述第二金属电极厚度为100nm。

6.根据权利要求3所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:两个相邻金属膜之间的间距为2mm或3mm。

7.根据权利要求1所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述驻极体基材采用聚四氟乙烯或聚全氟乙丙烯。

8.根据权利要求1所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述第一金属电极厚度与第二金属电极厚度相同。

9.根据权利要求1所述的图形化薄膜驻极体的制备方法,其特征在于包括下述步骤:(1)在聚全氟乙丙烯薄膜样品的下表面蒸镀厚度为100nm的铝电极;

(2)在聚全氟乙丙烯薄膜样品的上表面蒸镀厚度为100nm的栅型铝电极;所述栅型铝电极由若干个铝片间隔设置而成,所述铝片在聚全氟乙丙烯薄膜上呈等间距阵列式分布,相邻的两个铝片间距为2mm;

(3)施加交流高压电场,电场强度为20KV/cm,交流电的频率500HZ;

(4)在维持电压不变的情况下,升高温度至150℃,并在该温度下极化5min;

(5)在维持电压不变的情况下降至室温,撤去电场。