欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 201410165012X
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,是将GaSb衬底依次通过Load-lock和Buffer真空室中进行热处理去除表面吸附物;将热处理的衬底送入生长室,在Sb保护下加热衬底去除氧化层,并生长GaSb生长缓冲层,之后在RHEED监控下关闭Sb保护至衬底形成局部生长界面,打开Ga、Sb源生长GaSb纳米线。

2.根据专利要求1所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,GaSb衬底放置Load-lock真空室进行热处理,加热温度为200℃后,真-6空抽至3.0×10 Torr,加热2个小时。

3.根据专利要求1所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,Buffer真空室加热温度为350℃,处理时间为1个小时。

4.根据专利要求1所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,生长室内GaSb衬底去除氧化层温度620℃。

5.根据专利要求1所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,将GaSb的衬底温度维持在620℃,保持10分钟,保证氧化层的完全去除。

6.根据专利要求5所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,去除加热去除氧化层过程需要Sb源保护。

7.根据专利要求5所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,去除加热去除氧化层过程开启RHEED对衬底表面结构状态进行监控。

8.根据专利要求1所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,衬底氧化层完全去除后,关闭Sb源挡板的时间为3~5秒,形成局部生长界面。

9.根据专利要求8所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,衬底形成新的局部生长界面过程,需要RHEED对衬底表面进行监控。

10.根据专利要求8所述的用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其特征在于,新界面形成后开始生长,当RHEED图像由竖条变为横条,表明纳米线一维生长。