1.用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其包括以下步骤:
1)首先将GaSb衬底放置在钼托上,装在小车上送进MBE的Load-lock真空室中进行热处理,关闭真空室的门后抽真空至3.0×10-6Torr,对Load-lock真空室进行加热,加热温度为
200℃,加热时间为2个小时;
2)将放置GaSb衬底的小车送入MBE的Buffer真空室中进行热处理,Buffer真空室加热温度为350℃,处理时间为1个小时;
3)将GaSb衬底的导入MBE的生长室中进行去氧化层处理;
4)开启高能反射电子衍射仪(RHEED)对衬底表面进行原位监控;
5)打开Sb源挡板,对衬底进行保护;
6)将GaSb衬底温度加至580℃,RHEED图像出现衍射点,表明氧化层开始去除;
7)将GaSb衬底温度加至620℃,保持10分钟,RHEED图像开始出现再构条纹,表明此时衬底表面氧化层已去除完全;打开Ga源挡板,生长GaSb缓冲层;
8)关闭Sb源挡板,3~5秒,RHEED图像由条形变为点状;
9)打开Ga源和Sb源挡板,进行生长;
10)生长10分钟后,RHEED图像由竖条变为横条,表明为纳米线一维生长;
11)再生长100分钟;
12)关闭Ga源,降低衬底温度;
13)当衬底温度低于400℃,关闭Sb源;
14)降低衬底温度至室温,完成生长,取出样品。