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专利号: 201410165012X
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.用分子束外延(MBE)在GaSb衬底上无催化制备GaSb纳米线的方法,其包括以下步骤:

1)首先将GaSb衬底放置在钼托上,装在小车上送进MBE的Load-lock真空室中进行热处理,关闭真空室的门后抽真空至3.0×10-6Torr,对Load-lock真空室进行加热,加热温度为

200℃,加热时间为2个小时;

2)将放置GaSb衬底的小车送入MBE的Buffer真空室中进行热处理,Buffer真空室加热温度为350℃,处理时间为1个小时;

3)将GaSb衬底的导入MBE的生长室中进行去氧化层处理;

4)开启高能反射电子衍射仪(RHEED)对衬底表面进行原位监控;

5)打开Sb源挡板,对衬底进行保护;

6)将GaSb衬底温度加至580℃,RHEED图像出现衍射点,表明氧化层开始去除;

7)将GaSb衬底温度加至620℃,保持10分钟,RHEED图像开始出现再构条纹,表明此时衬底表面氧化层已去除完全;打开Ga源挡板,生长GaSb缓冲层;

8)关闭Sb源挡板,3~5秒,RHEED图像由条形变为点状;

9)打开Ga源和Sb源挡板,进行生长;

10)生长10分钟后,RHEED图像由竖条变为横条,表明为纳米线一维生长;

11)再生长100分钟;

12)关闭Ga源,降低衬底温度;

13)当衬底温度低于400℃,关闭Sb源;

14)降低衬底温度至室温,完成生长,取出样品。