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专利号: 2013102267192
申请人: 苏州市金翔钛设备有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕
更新日期:2025-07-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种应用于微细电铸中的阴极单元,包括水平设置阴极模板以及夹具体,其特征在于,所述阴极模板边缘通过密封块封闭,所述夹具体包括上部设有开口的桶状固定槽,所述固定槽内部设有与所述阴极模板接触的加热装置。

2.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元,其特征在于,加热装置包括内设有电阻丝的加热板,所述加热板上方设有与所述阴极模板连接的传热垫片。

3.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元,其特征在于,所述固定槽为绝缘槽。

4.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元,其特征在于,所述固定槽内还设有一端与所述加热板连接,一端伸出所述固定槽的温度传感器。

5.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元,其特征在于,所述温度传感器上还套有绝缘套。

6.根据权利要求1所述的一种应用与微细电铸中的阴极单元,其特征在于,所述密封块通过紧固螺栓固定在所述固定槽中。

7.根据权利要求2所述的一种应用与微细电铸中的阴极单元,其特征在于,所述加热板和传热垫片为铜质。