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专利号: 2013101184648
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于标准CMOS工艺的双结深PN结光电二极管,其特征在于:包括由半导体硅P型衬底(1)和N型阱(2)构成的深结PN结光电二极管;由P型源漏注入(4)和所述N型阱(2)构成的浅结PN结光电二极管,所述半导体硅P型衬底(1)为所述深结PN结光电二极管的阳极,所述N型阱(2)为所述深结PN结光电二极管的阴极;所述P型源漏注入(4)为所述浅结PN结光电二极管的阳极,所述N型阱(2)为所述浅结PN结光电二极管的阴极;所述半导体硅P型衬底(1)通过P型源漏注入(5)形成重掺杂欧姆接触,并通过金属接触孔(6)引出,所述N型阱(2)通过N型源漏注入(3)形成重掺杂欧姆接触,并通过金属接触孔(8)引出,所述P型源漏注入(4)通过接触孔(7)引出,所述金属接触孔(7、8、9)位于半导体绝缘层(9)中,所述深结PN结光电二极管和所述浅结PN结光电二极管共用所述N型阱(2)构成双结深PN结光电二极管的阴极,所述深结PN结光电二极管阳极和所述浅结PN结光电二极管阳极并联构成双结深PN结光电二极管的阳极。

2.如权利要求1所述的双结深PN结光电二极管,其特征在于:所述双结深PN结光电二极管由所述深结PN结光电二极管和所述浅结PN结光电二极管并联构成;所述深结PN结光电二极管可用二极管(10)等效,所述浅结PN结光电二极管可用二极管(11)等效,所述二极管(10)和所述二极管(11)阳极并联,形成端口(12),所述二极管(10)和所述二极管(11)阴极并联,形成端口(13);在使用时,所述端口(12)接地,所述端口(13)接一正向电压,所述双结深PN结光电二极管反向偏置,当荧光照射时,在所述双结深PN结光电二极管端口(12)和端口(13)之间形成光电流。