1.一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜，其特征在于：所述氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5-11％，氮的摩尔百分含量是0.8-1.7％；其中，所述氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜在常温下，其压电常数d33大于16pC/

10

N，其电阻率大于1.2×10 Ω·cm。

2.如权利要求1所述的氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜，其特征在于：所述氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜在蓝宝石衬底上通过射频磁控溅射方法来形成，其厚度为300-400nm。