1.用于制备硅纳米线太阳能电池的二次氧化钝化方法,其特征在于包括如下步骤:(1)在(100)p或n型单晶硅上利用金属辅助湿法腐蚀方法形成纳米线;
(2)在硅纳米线表面形成一层氧化层
方案一:利用干氧氧化工艺在硅纳米线表面形成一层氧化层:o
在氧气气氛下,氧气流量在20-80 sccm,温度在 800~900 C,加热 10-30分钟,形成氧化层厚度在5~10 nm;
或方案二:利用体积浓度为20-30 %的双氧水室温浸泡硅纳米线10-30min;
(3)利用HF酸腐蚀氧化层
利用HF酸水溶液浸泡硅纳米线10-30min,去除氧化层。
2.如权利要求1所述的用于制备硅纳米线太阳能电池的二次氧化钝化方法,其特征在于:所述p型或n型单晶硅片的电阻率在1~30 Ωcm,厚度在150~220 μm。
3. 如权利要求1所述的用于制备硅纳米线太阳能电池的二次氧化钝化方法,其特征在于:所述HF酸为HF酸水溶液,摩尔浓度为1~3 %。