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专利号: 2012105089667
申请人: 常州大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2025-03-12
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.用于制备硅纳米线太阳能电池的二次氧化钝化方法,其特征在于包括如下步骤:(1)在(100)p或n型单晶硅上利用金属辅助湿法腐蚀方法形成纳米线;

(2)在硅纳米线表面形成一层氧化层

方案一:利用干氧氧化工艺在硅纳米线表面形成一层氧化层:o

在氧气气氛下,氧气流量在20-80 sccm,温度在 800~900 C,加热 10-30分钟,形成氧化层厚度在5~10 nm;

或方案二:利用体积浓度为20-30 %的双氧水室温浸泡硅纳米线10-30min;

(3)利用HF酸腐蚀氧化层

利用HF酸水溶液浸泡硅纳米线10-30min,去除氧化层。

2.如权利要求1所述的用于制备硅纳米线太阳能电池的二次氧化钝化方法,其特征在于:所述p型或n型单晶硅片的电阻率在1~30 Ωcm,厚度在150~220 μm。

3. 如权利要求1所述的用于制备硅纳米线太阳能电池的二次氧化钝化方法,其特征在于:所述HF酸为HF酸水溶液,摩尔浓度为1~3 %。