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专利号: 201210166956X
申请人: 凝辉(天津)科技有限责任公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1. 一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:它包括1 个环形镜片、1 个圆形镜片、8 个平面弹簧和8 个微驱动器;所述环形镜片的输入端与4 个平面弹簧的输出端相连;所述圆形镜片的输入端与另外4 个平面弹簧的输出端相连;每个平面弹簧的输入端分别与每个微驱动器的输出端相连;所述环形镜片的反光面与所述圆形镜片的反光面相对,光线经由所述环形镜片的孔照射到所述圆形镜片中心,经所述圆形镜片反射到所述环形镜片上,再经所述环形镜片反射到成像目标。2. 如权利要求1 所述的一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:所述的微驱动器采用微加工技术制成,基于电热驱动原理,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅,金属和金属氧化物。3. 如权利要求1 所述的一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:所述的环形镜片和圆形镜片的机械偏转角度均为0-45 度。4. 如权利要求1 所述的一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:所述的平面弹簧采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅和二氧化硅。5. 如权利要求1 所述的一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:所述的环形镜片为环形,采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅,金属和金属氧化物,与圆形镜片反光面相对的表面镀有高反射率镀层。6. 如权利要求1 所述的一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:所述的圆形镜片为圆形,采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅,金属和金属氧化物,与环形镜片反光面相对的表面镀有高反射率镀层。

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