1.一种简易精密位移台,其特征在于,包括基座(1)、隔振器(2)、固定内六角螺钉(3)、直线导轨(4),内六角紧定螺钉(5),微动工作台(6),压电陶瓷驱动器(7),直线光栅尺(8),直线电机(9);
所述基座(1)为整个位移台的载体,在基座(1)下部安装的隔振器(2),两根直线导轨(4)通过固定内六角螺钉(3)紧固在基座(1)上,两个直线电机(9)分别布于直线导轨(4)的同端内侧上,直线电机(9)与微动平台(6)通过内六角紧定螺钉(5)连接;两个直线电机(9)上装有直线光栅尺(8);通过直线光栅尺(8)的反馈数据,两个直线电机(9)同步输出精密位移;通过导轨(4)的导向,直线电机(9)和微动平台(6)无间隙、同步运动;
所述微动工作台(6)采用“Ⅲ”字型布置,工作台的外框通过内六角紧定螺钉(5)与直线电机(9)相连,使直线电机(9)的位移输出传递给微动工作台(6);微动工作台(6)中央的工作台两侧均布着等长等厚的矩形弹簧片,弹簧片的平行对称布置构成平行四杆机构;
压电陶瓷驱动器7在保证其与工作台无隙接触的情况下,固定安装在微动平台6的卡槽内;
微动平台6内的工作台上设有螺纹安装孔,可以用于安装测量头或微型刀具等,以用于精密测量与精密加工;
所述直线导轨(4)采用“工”字型导轨,每个导轨各有两侧,一侧通过均布的三个固定内六角螺钉(3)紧固在基座(1)上,另一侧则安装有直线电机(9)。
2.依据权利要求1所述的一种简易精密位移台,其特征在于,采用直线电机(9)作为大行程驱动元件,压电陶瓷驱动器(7)作为微位移驱动元件,通过二者实现整个工作台的高响应,高刚度等性能;直线光栅尺(8)实现了直线电机(9)的反馈调节,实现了输出位移的精确可控。