1、一种改善氮化镓功率晶体管散热性能的方法,其特征在于该方法 包括以下步骤:(1)在蓝宝石基底上外延生长氮化镓功率晶体管材料,利用微电子加 工工艺研制成蓝宝石衬底氮化镓功率晶体管;
(2)把研制好的氮化镓功率晶体管正面粘贴在另一个基底载体上,采 用溶剂可以溶解的粘结剂,该粘结剂即可以将氮化镓功率晶体管和基底材 料容易粘结,又可以通过溶剂溶解掉实现分离;
(3)用波长100nm~800nm的激光从氮化镓晶体管的背面蓝宝石上照 射,使得蓝宝石与氮化镓功率晶体管脱离;
(4)分离后的氮化镓功率晶体管粘结在导热性好的材料上,采用的粘 结剂要求不溶于溶剂,而且有良好的导热性;
(5)将氮化镓功率晶体管置于溶剂里,氮化镓功率晶体管与基底载体 之间的粘结剂将被溶剂溶解,基底载体与氮化镓功率晶体管脱离。